Analyse et prédiction de séries temporelles par méthodes non linéaires

Application à des données industrielles et financières
Première édition

L'analyse et la prédiction de séries temporelles sont des défis scientifiques importants, qui trouvent leurs applications dans des domaines aussi variés que la finance, la production électrique, l’hydrologie, la climatologie, etc.
Comme ils englobent les modèles linéaires, les modèles non linéaires offrent potentiellement des performances supérieures mais ils posent cependant également des problèmes complexes tels que des minima locaux pour la fonction à optimiser, des temps de calcul très longs, une sélection de structure de modèle rendue plus difficile et une détermination de régresseur plus ardue. On définit tout d’abord la meilleure structure de modèle comme celle qui minimise une erreur de généralisation. Les différentes méthodes permettant d’estimer cette erreur sont présentées : Cross-Validation, Leave-One-Out, Bootstrap, etc. Une comparaison expérimentale de ces méthodes sur une série benchmark classique montre la supériorité des méthodes de Bootstrap. Une accélération de ces méthodes ainsi qu’une solution au problème des minima locaux sont apportées. Les différentes méthodes de détermination du meilleur régresseur, c’est-à-dire le vecteur d’entrées utilisé pour la prédiction, sont étudiées. Afin de donner une borne inférieure et une borne supérieure à la taille de ce régresseur, plusieurs interprétations du théorème de Takens sont formulées. Une méthodologie pratique permettant la construction d’un régresseur par projection non linéaire est proposée et illustrée sur des exemples de prédiction de séries financières.
Des modèles non linéaires simples basés sur la quantification vectorielle sont développés. Ils proposent une alternative dont les performances et la complexité se situent entre celles des modèles linéaires et des modèles non linéaires classiques : les performances sont meilleures que celles obtenues avec des modèles linéaires mais les temps de calcul demandés sont moins importants que pour les autres modèles non linéaires.
Finalement, une méthode d’analyse de données basée sur les cartes auto-organisées et l’algorithme de Ward est présentée. Cette méthode d’analyse débouche sur une méthode de prédiction à long terme dont les résultats sont évalués sur la prédiction, sur une durée de 24h, de la consommation électrique


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Spécifications


Éditeur
Presses universitaires de Louvain
Auteur
Amaury Lendasse,
Collection
Thèses de l'École polytechnique de Louvain
Langue
français
Catégorie (éditeur)
Sciences appliquées > Ingénierie mathématique
BISAC Subject Heading
TEC000000 TECHNOLOGY & ENGINEERING
Code publique Onix
06 Professionnel et académique
CLIL (Version 2013-2019 )
3069 TECHNIQUES ET SCIENCES APPLIQUEES
Date de première publication du titre
2003
Subject Scheme Identifier Code
Classification thématique Thema: Technologie, ingénierie et agriculture, procédés industriels
Type d'ouvrage
Thèse

Livre broché


Date de publication
01 janvier 2007
ISBN-13
978-2-87463-068-2
Ampleur
Nombre absolu de pages : 264, Nombre de pages de contenu principal : 264
Code interne
75708
Format
16 x 24 x 1,5 cm
Poids
434 grammes
Prix
21,89 €
ONIX XML
Version 2.1, Version 3

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Sommaire


List of Figures xvii

List of Tables xxvii

List of Abbreviations xxxi

List of Symbols xxxiii

1 Introduction 1

1.1 History . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1

1.2 Timeline of Semiconductor Devices . . . . . . . . . . 1

1.3 Development of SOI MOSFET's . . . . . . . . . . . . 2

1.4 Why Novel Devices based on SOI Technology? . . . . 6

1.5 Multiple-gate devices . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8

1.5.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8

1.5.2 Why the move to multiple-gate devices? . . . . 12

1.5.3 Advantages of the multiple-gate structure . . . 13

1.5.3.1 Subthreshold Regime . . . . . . . . 13

1.5.3.2 Increased drain current . . . . . . . 15

1.5.3.3 Speed superiority . . . . . . . . . . 17

1.5.3.4 Volume inversion . . . . . . . . . . 17

1.6 PresentWork . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19

2 Numerical simulation tools 27

2.1 Numerical simulations . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

2.2 Monte-Carlo Simulation . . . . . . . . . . . . . . . . 28

2.3 Challenges and needs . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

2.4 Different numerical simulation tools . . . . . . . . . . 30

2.5 Numerical simulation: ATLAS Package . . . . . . . . 33

2.5.1 Theory of Carrier Statistics . . . . . . . . . . . 33

2.5.2 Transport model . . . . . . . . . . . . . . . . 34

2.5.2.1 Drift-diffusion model . . . . . . . . 35

2.5.2.2 Energy Balance model . . . . . . . . 36

2.5.3 Recombination and generation of carriers . . . 37

2.5.4 Impact Ionization . . . . . . . . . . . . . . . . 38

2.5.5 Interface charge . . . . . . . . . . . . . . . . . 41

2.5.6 Mobility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41

2.5.7 Self-heating . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42

2.5.8 Carrier heating . . . . . . . . . . . . . . . . . 43

2.6 Doping Profile . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43

2.7 Conclusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45

3 Graded-Channel Single-Gate and Double-Gate SOI MOSFETs 47

3.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47

3.2 Fabrication of Graded-Channel devices . . . . . . . . 50

3.3 Graded-Channel Single-Gate SOI MOSFET . . . . . . 54

3.3.1 Threshold voltage and Subthreshold-slope at Low- Vds . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55

3.3.2 Saturation Current . . . . . . . . . . . . . . . 57

3.3.3 Analog Characteristics . . . . . . . . . . . . . 59

3.4 Graded-Channel Double Gate devices . . . . . . . . . 63

3.4.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63

3.4.2 Analytical Modeling . . . . . . . . . . . . . . 66

3.4.3 Subthreshold Regime . . . . . . . . . . . . . . 68

3.4.4 Saturation Current . . . . . . . . . . . . . . . 69

3.4.5 Analog characteristics . . . . . . . . . . . . . 73

3.4.5.1 Gate transconductance . . . . . . . . 73

3.4.5.2 Transconductance-to-current ratio . . 75

3.4.5.3 Early voltage . . . . . . . . . . . . . 76

3.4.5.4 Voltage gain . . . . . . . . . . . . . 79

3.4.6 Graded-Channel architecture: Physics . . . . . 82

3.5 Conclusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87

4 Planar Double-Gate SOI MOSFET with prepatterned cavities 89

4.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89

4.2 Planar double-gate MOSFET fabrication techniques . . 90

4.2.1 Gate-All-Around by isotropic etch of buried oxide 90

4.2.2 CEA-LETI wafer bonding . . . . . . . . . . . 91

4.2.2.1 Non-self-aligned double-gate wafer bondingprocess . . . . . . . . . . . . . . 91

4.2.2.2 Self-aligned double-gate wafer bondingprocess . . . . . . . . . . . . . . 94

4.2.3 Double-gate devices fabricated based on the Siliconon- Nothing device . . . . . . . . . . . . . . . 96

4.3 Double-gate fabrication with prepatterned cavities and wafer bonding . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97

4.4 Critical points . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101

4.4.1 Surface activation . . . . . . . . . . . . . . . . 103

4.4.2 Annealing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112

4.4.3 Cleanliness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 114

4.4.4 TMAH etching . . . . . . . . . . . . . . . . . 114

4.4.5 Chemical vapor deposition of Polysilicon into buried cavities . . . . . . . . . . . . . . . . . 115

4.4.6 Alignment of top and bottom gates . . . . . . . 118

4.5 Electrical characterization of built planar DG MOSFETs 120

4.6 Silicon-on-Nothing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125

4.7 Conclusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135

5 Quasi Double-Gate SOI MOSFET 137

5.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137

5.2 Devices analyzed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 140

5.3 Analog and Digital analysis . . . . . . . . . . . . . . . 142

5.3.1 Analysis of 30 nm Si thickness devices . . . . 142

5.3.2 Analysis of 20 nm Si thickness devices . . . . 149

5.4 Limitation of emulating a Quasi Double-gate . . . . . 155

5.5 Conclusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 161

6 Performance comparison of Multiple-gate MOS devices 165

6.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 165

6.2 Numerical simulations of Multiple-gate MOSFETs . . 166

6.2.1 Subthreshold static performance . . . . . . . . 169

6.2.2 Analog static Analysis . . . . . . . . . . . . . 170

6.2.3 AC Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . 177

6.2.3.1 Intrinsic capacitances . . . . . . . . 178

6.2.3.2 Parasitic capacitiances . . . . . . . . 178

6.3 Experimental results: FinFETs . . . . . . . . . . . . . 184

6.3.1 FinFET architectures . . . . . . . . . . . . . . 184

6.3.2 Measured DC characteristics . . . . . . . . . . 186

6.4 Conclusions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 191

7 Conclusion 195

A Example of net list for 2-D Double-Gate SOI MOSFET numerical simulation 201

B Example of net list for a 3-D Double-Gate SOI MOSFET numerical simulation 207

Bibliography 212